前言

近年來，人工智能（AI）發(fā)展迅猛，為科研、工作以及日常生活帶來了極大便利。AI的興起離不開半導(dǎo)體行業(yè)的支撐，"AI + 半導(dǎo)體"可謂雙向奔赴：AI為半導(dǎo)體行業(yè)帶來了巨大的算力需求與廣闊的應(yīng)用場景；而半導(dǎo)體技術(shù)的進步，又是AI發(fā)展的物理基礎(chǔ)。在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，需要用到多種高分子材料，本文將介紹Shodex GPC色譜柱在半導(dǎo)體高分子材料分析中的應(yīng)用。

色譜柱介紹

Shodex GPC KF-800和KD-800系列是油溶性尺寸排阻色譜柱，出廠溶劑分別是THF和DMF。適用于使用有機溶劑作為流動相進行有機物和低聚物的分離以及高分子的分子量分布測定。Shodex有一系列排阻限不同的產(chǎn)品，可以根據(jù)樣品的分子量范圍進行選擇。

此外，LF-804也是使用THF作為出廠溶劑的色譜柱，對于聚苯乙烯（PS）標準品的線性分析范圍是300-2,000,000。LF系列的特點是采用細孔分布范圍廣（細孔多分散型）的填料，在一定范圍內(nèi)可以獲得沒有拐點的高線性標準曲線，能對很寬范圍的分子量進行分析。

注意：以下實例中的色譜柱型號僅為實驗所用，并非適用于該類樣品的所有情況。實際分析時，請根據(jù)待測樣品的分子量大小選擇合適型號。

01 聚偏氟乙烯（PVDF）

- 材料信息

聚偏氟乙烯（PVDF）是一種含氟熱塑性塑料，主要用于超純水管道、片材內(nèi)襯、粉末涂層、高純度化學(xué)管道及配件中。

- 樣品信息

進樣量：200 μL

樣  品：0.25% PVDF

- 實驗譜圖

* 本圖譜代表一次實驗結(jié)果，僅供參考。

- 分析條件：

02 聚醚醚酮（PEEK）  

- 材料信息

聚醚醚酮（PEEK）是一種高性能特種工程塑料?，主要用于排氣管道涂層、化學(xué)機械拋光處理（CMP）保持環(huán)和蝕刻腔體組件、晶圓搬運設(shè)備中。

- 樣品信息

進樣量：50 μL

樣  品：兩種PEEK樣品，濃度各0.2 %

- 實驗譜圖

* 本圖譜代表一次實驗結(jié)果，僅供參考。

- 分析條件：

- - - -注意事項

GPC K-806M已經(jīng)終止銷售，請選擇同類型的GPC KF-806M（出廠儲存溶劑：THF），置換成氯仿或者其他適當(dāng)溶劑后再使用。

03聚酰胺酸（PAA）

- 材料信息

聚酰胺酸一種線性高分子聚合物，也是合成聚酰亞胺（PI）的前驅(qū)體。而聚酰亞胺（PI）是一種十分重要的聚合物新材料，常用于①先進封裝材料：作為緩沖涂層/鈍化層、再布線層，②晶圓載具、芯片托盤，③半導(dǎo)體設(shè)備的高溫絕緣件，④光刻與圖案化等。

- 樣品信息

進樣量：100 μL

樣  品：聚酰胺酸

- 實驗譜圖

* 本圖譜代表一次實驗結(jié)果，僅供參考。

- 分析條件：

- 注意事項

聚酰胺酸是既含有正電荷又含有負電荷的離子型聚合物。如下是使用NMP做流動相和使用添加了LiBr的磷酸做流動相的圖譜比較。添加了LiBr后，能夠抑制離子性相互作用，得到良好的峰型。

04聚碳酸酯（PC）

- 材料信息

聚碳酸酯（PC）是一種無色透明、高抗沖擊性的熱塑性工程塑料?，主要用于①晶圓包裝與運輸載具，②光罩保護盒，③芯片封裝與測試環(huán)節(jié)的晶片托盤和芯片載帶，④半導(dǎo)體設(shè)備與潔凈室設(shè)施等。

- 樣品信息

樣  品：聚碳酸酯

- 實驗譜圖

* 本圖譜代表一次實驗結(jié)果，僅供參考。

- 分析條件：

05 聚砜樹脂（PSU）

- 材料信息

聚砜樹脂（PSU）是一種無定形熱塑性工程塑料，主要用于①晶圓載具與芯片托盤，②半導(dǎo)體測試治具與精密零件，③過濾系統(tǒng)，④光刻與封裝材料，⑤密封與墊圈等

- 樣品信息

聚砜樹脂

- 實驗譜圖

* 本圖譜代表一次實驗結(jié)果，僅供參考。

- 分析條件：

（——END——）